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GB 51110-2015《洁净平台登录及质量验收规范》空气洁净度测试方法

发表时间:2018-06-08 16:52:08浏览量:

GB 51110-2015洁净平台登录及质量验收规范》测试方法

C.1 空气洁净度等级测试

C.1.1 空气洁净度等级的测试宜采用粒子计数器,采样量应大于1L/min。测试粒径大于或等于0.5μm粒子时,宜采用光散射粒子计数器;测试粒径大于或等于0.1μm的粒子时,宜采用大流量激光粒子计数器,采样量应为28.3L/min;测试粒径小于0.1μm的超微粒子时,宜采用凝聚核激光粒子计数器。

C.1.2 采样点的确定应符合下列规定:
    1 最少采样点应按下式计算:

    式中:NL——最少采样点,四舍五入取整数;
          A——洁净室(区)的面积。在水平单向流时,指与气流方向垂直的流动空气的截面积,以m2计。
    2 采样点应均匀分布于洁净室(区)的面积内,并应位于工作区高度。

C.1.3 每次采样的最少采样量应符合下列规定:
    1 每个采样点的每次采样量(VS)应按下式计算:

    式中:Cnm——被测洁净室(区)空气洁净度等级被测粒径的允许限值(个/m3);
          20——在规定被测粒径粒子的空气洁净度限值时,可检测到的粒子数。
    2 每个采样点的采样量应至少为2L,采样时间应最少为1min,当洁净室(区)仅有1个采样点时,在该点应至少采样3次。当VS很大时,采样时间较长,宜采用顺序采样法。

C.1.4 对于单向流洁净室,采样口应对着气流方向,对于非单向流洁净室,采样口宜向上。采样速度宜接近室内气流速度。

C.1.5 室内测试人员应穿洁净服,不得超过3人,测试人员应位于测试点下风侧并远离测试点,并应保持静止。进行换点操作时动作应轻,应减少人员对室内洁净度的干扰。

C.1.6 每个采样次数为2次或2次以上的采样点,应按下式计算平均粒子浓度:

    式中:Xi——采样点i的平均粒子浓度,i可代表任何位置;
          Xi1至Xin——每次采样的粒子浓度;
          n——在采样点i的采样次数。

C.1.7 采样点为1个时,应按本规范式(C.1.6)计算该点平均粒子浓度。采样点为10个或10个以上时,应按本规范式(C.1.6)计算各点的平均浓度后,再按下式计算洁净室(区)总平均值:

    式中:X——各采样点平均值的总平均值;
          Xi1Xim——按式(C.1.6)计算的各个采样点的平均值,即洁净室(区)总平均值;
          m——采样点的总数。

C.1.8 置信上限(UCL)的计算应符合下列规定:
    1 当采样点只有1个或多于9个时,不计算95%置信上限。
    2 采样点为1个以上10个以下时,除应根据本规范式(C.1.7)计算各采样点的平均值和总平均值外,还应按下式计算总平均值的标准偏差:

    3 应按下式计算总平均值的95%置信上限:

    式中:t——分布系数,应按表C.1.8取值。

表C.1.8 95%置信上限(UCL)的t分布系数

采样点数m234567~9
t6.32.92.42.12.01.9

    4 每个采样点测得粒子浓度的平均值X1以及洁净室总平均值95%置信上限均未超过空气洁净度等级的浓度限值时,可认为该洁净室(区)已达到规定的空气洁净度等级。
    测试结果未能满足规定的空气洁净度等级时,宜增加均匀分布的新采样点进行测试,应对包括新增采样点数据在内的所有数据重新计算,其结果可作为最终检验结果。


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