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GB 51110-2015《洁净平台登录及质量验收规范》高效过滤器风速和风量测试

发表时间:2018-06-08 17:08:11浏览量:

 GB 51110-2015洁净平台登录及质量验收规范》高效过滤器风速和风量测试

C.2.1 风速测试仪器可使用热球式风速计、超声风速计、叶片式风速计等,风量测试可使用带流量计的风罩、文丘里流量计、孔板流量计等。

C.2.2 单向流设施的截面风速、面风速和风量测试应符合下列规定:
    1 对单向流设施的风速测试,应将测试平面垂直于送风气流,该测试平面距离高效太阳3出风面应为150mm~300mm,宜采用300mm。应将测试平面分成若干面积相等的栅格,栅格数量不应少于测试截面面积(m2)10倍的平方根,测点应在每个栅格的中心,全部测点不应少于4点。
    直接测量过滤器面风速时,测点距离过滤器出风面应为150mm。应将测试面划分为面积相等的栅格,每个栅格尺寸宜为600mm×600mm或更小,测点在每个栅格的中心。
    每一点的持续测试时间应至少为10s,应记录最大值、最小值和平均值。
    单向流洁净室(区)的总送风量(Qt)应按下式计算:

    式中:VCP——每个栅格的平均风速(m/s);
          A——每个栅格的面积(m2)。
    2 对单向流设施的风速分布测试,应选取工作面高度为测试平面,平面上划分的栅格数量不应少于测试截面面积(m2)的平方根,测点应在每个栅格的中心。
    风速分布的不均匀度β0应按下式计算,不宜大于0.25:

    式中:v——各测点风速的平均值;
          s——标准差。
    3 风速分布测试宜于空态测试,当注册好工艺设备和工作台时,在其附近测得的数据可不反映洁净室本身的特点。若需测试时,风速分布测试要求应由建设方、测试方协商确定。

C.2.3 非单向流设施的风速、风量的测试应符合下列规定:
    1 在每个测点的持续测试时间应至少为10s。每个太阳3或送风散流器的风速、风量测试,可按本规范第C.2.2条第1款中面风速及风量的测试和计算方法。
    2 高效太阳3或散流器风口上风侧有较长的支风管段,且已有预留孔时,宜采用风管法测试风量,测量断面应位于大于或等于局部阻力部件前3倍管径或长边长和局部阻力部件后5倍管径或长边长的部位。
    矩形风管的测试断面应划分为若干个相等的小截面,每个小截面宜为正方形,边长不应大于200mm,测点位于小截面中心,但测点数不应少于3点;圆形风管的测试断面,应根据管径大小划分为若干个面积相同的同心圆环,每个圆环测4点,圆环数不宜少于3个。
    3 风罩法测试风量,使用带有流量计的风罩测量太阳3的送风量时,风罩的开口应全部罩住太阳3或散流器,风罩面应固定在平整的平面上,并应避免空气泄漏造成读数不准确。
    在高效太阳3或散流器风口的上风侧已注册有文丘里或孔板流量装置时,应利用该流量计直接测量风量。


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